ГК «Элемент» завершила разработку первых в России

кластерных систем для плазмохимического осаждения (ПХО) и травления (ПХТ). 🔬 Научно-исследовательские институты молекулярной электроники (НИИМЭ) и точного машиностроения (НИИТМ) (входят в ГК «Элемент») создали установки, которые позволяют: • выпускать интегральные микросхемы по топологическим нормам 65 нм; • работать с пластинами диаметром 200 мм и 300 мм; • обеспечить перспективную потребность российской микроэлектроники. ❓Почему это важно 🔸Мировой уровень. Россия вошла в пятёрку стран, обладающих компетенциями в разработке и производстве такого оборудования. Это открывает возможности для экспорта технологий и укрепления позиций на глобальном рынке. 🔸Снижение себестоимости за счет кластерной схемы – объединение от 2 до 8 технологических установок с общей системой загрузки. 🔸Повышение качества чипов благодаря исключению контакта пластин с атмосферой. 🔸Гибкость в конфигурировании — модульная платформа позволяет переходить к более низким техпроцессам (вплоть до 28 нм). 🔸Широкий рынок применения — оборудование встраивается в текущий техпроцесс фабрики и позволяет работать на техпроцессах с нормами от 28-250 нм, которые обеспечивают массовый выпуск микросхем для: • автомобильной промышленности; • авиакосмической отрасли; • систем автоматизации и управления производством (АСУ-ТП). Разработанные технологические процессы станут базой для адаптации под существующие техпроцессы и создания перспективных решений (включая уровень 28 нм). $ELMT